東莞普諾克真空科技有限公司專業(yè)設(shè)計制造個性化的*真空系統(tǒng),公司擁有專業(yè)性的設(shè)計施工隊伍,可以根據(jù)客戶的不同需求進(jìn)行設(shè)計與組建,同時提供一站式的真空抽濾系統(tǒng)服務(wù):咨詢、設(shè)計、安裝、現(xiàn)場調(diào)試及售后跟蹤服務(wù)。
真空抽濾系統(tǒng)型號:PNK100(1 x RH0100)
抽速:100m3/hhttp://www.pronotek。。com/
極限壓力:0.1(15)mbar
緩沖罐體:100L
電機功率:3.0Kw
尺寸:1100×425×900mm
真空抽氣接口尺寸數(shù)量:12×6
*真空站優(yōu)勢:
1.涵蓋眾多小型真空消費者的需求
2.模塊化設(shè)計,根據(jù)客戶的具體流程定制
3.操作簡單
4.節(jié)省空間的系統(tǒng)解決方案
5.投資回報率高,優(yōu)良的性價比
6.節(jié)能功能
7.擁有成本低
8.由于緩沖體積循環(huán)時間減少(無限泵送速度效應(yīng))
9.完整的一站式系統(tǒng),可隨時運行
降低漏氣率的措施:
1.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)
真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵,真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否,將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。
(1)盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角,要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
(2)抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道,采用圓弧過渡,使氣路暢通無阻,但要考慮清洗清掃的方便性。
(3)認(rèn)真設(shè)計真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu),使氣路暢通,避免氣路堵塞。
(4)打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面,表面越光亮就越不易氣體吸附,越容易獲得真空。
(5)盡可能減小真空室的體積,縮短管路系統(tǒng)。
2.密封形式的選擇
密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實際工作需要選擇密封形式,對于人工晶體生長設(shè)備,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例,我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動密封,選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進(jìn)行移動密封,小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封,各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式,直徑壓縮比為25%。
密封件材質(zhì)的選用:真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng),密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是,考慮到實際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度zui高可達(dá)2300℃,密封部位進(jìn)行水冷后,其溫度在80℃左右,個別處溫度可達(dá)100℃以上)。所以,要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料,除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外,還要求有低的滲透率和出氣率,良好的耐熱性耐油性,同時要有一定的強度、硬度和彈性等。
3.靜密封結(jié)構(gòu)的選擇
各種真空系統(tǒng)中,80%以上的密封為靜密封,靜密封效果的好壞,對系統(tǒng)的真空度及漏氣率有很大的影響。因此,要對靜密封結(jié)構(gòu)進(jìn)行認(rèn)真設(shè)計,以達(dá)到理想的效果。
對靜密封結(jié)構(gòu)的設(shè)計,主要考慮如何選擇主要密封面、如何減小殘留氣體及如何充分發(fā)揮橡膠密封圈功能。
無論是矩形密封槽、燕尾型密封槽還是梯形密封槽,其槽底較小的粗糙度容易獲得為主要密封面,而其側(cè)面則較小的粗糙度往往不易獲得。同時,為了消除殘留氣體,在存在殘留氣體處設(shè)計了貫通孔,使系統(tǒng)內(nèi)部各處暢通無阻。