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Aerotech AGV-SPO高性能單軸振鏡

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Aerotech AGV-SPO高性能單軸振鏡
關(guān)鍵詞:?jiǎn)屋S振鏡/aerotech激光振鏡/高性能振鏡
Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計(jì)掃描儀可替代傳統(tǒng)的兩鏡振鏡掃描儀。AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀,可為關(guān)鍵的激光微加工應(yīng)用提供更大的視野并減少點(diǎn)畸變。

詳細(xì)介紹

Aerotech AGV-SPO高性能單軸振鏡詳細(xì)介紹

AGV-SPO高性能單軸點(diǎn)振鏡

關(guān)鍵詞:?jiǎn)屋S振鏡/aerotech激光振鏡/高性能振鏡

 

AerotechAGV-SPO單樞軸檢流計(jì)掃描儀可替代傳統(tǒng)的兩鏡振鏡掃描儀。AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀,可為關(guān)鍵的激光微加工應(yīng)用提供更大的視野并減少點(diǎn)畸變。

 

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

· 比傳統(tǒng)的2D掃描儀更大的視野,簡(jiǎn)化了較大零件的處理

· 在整個(gè)視場(chǎng)中將光斑失真降至***,從而將質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至***

· 空氣和水冷卻選件可提供熱穩(wěn)定性并提高*精度

· 適用于各種激光波長的多種鏡面處理選擇


 

模型

AGV14SPO

光學(xué)性能

光束孔徑

14毫米

掃描角度

±20°

光束位移

35毫米

抖動(dòng)(小增量運(yùn)動(dòng))2

RMS 0.3微弧度

準(zhǔn)確性

50微弧度pk-pk

重復(fù)性3

均方根值 0.6 ?rad

增益誤差

0.05弧度

非線性度

0.005

動(dòng)態(tài)表現(xiàn)

追蹤誤差

0微秒

峰值加速度4,5

60,000 m / s 2

連續(xù)加速4,6

20,000 m / s 2

定位速度4

50 m /

處理速度4、78

5 m / s5

跳躍和穩(wěn)定時(shí)間,移動(dòng)1毫米 4,

700微秒

穩(wěn)定性

*漂移

偏移量

10 ?rad / 12小時(shí)

15微弧度/ 24小時(shí)

獲得

10 ppm / 24小時(shí)

熱漂移

偏移量

20微弧度/°C

獲得

1 ppm /

機(jī)械規(guī)格

 

大視野,光斑失真小

*的光學(xué)設(shè)計(jì)可有效控制光束入射光瞳,使其與XY掃描儀運(yùn)動(dòng)保持一致,從而增加了掃描儀系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑。這種設(shè)計(jì)直接為給定的焦距提供了更大的視野,并減少了整個(gè)工作區(qū)域上的光斑失真。這些優(yōu)勢(shì)意味著AGV-SPO能夠更快,更一致地處理更大的零件。

設(shè)計(jì)配置

AGV-SPO可提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)器件,以支持各種常用的激光波長和焦距。為了滿足其他需求,Aerotech可以根據(jù)要求為AGV-SPO提供定制的光學(xué)元件和光學(xué)安裝功能。AGV-SPO可以配置有風(fēng)冷鏡,水冷電機(jī)或兩者。這些主動(dòng)冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運(yùn)動(dòng)的情況下,保持工作平面的準(zhǔn)確性。

高級(jí)編程功能

AGV-SPO充分利用了Aerotech的所有*運(yùn)動(dòng)和位置同步輸出(PSO)功能,這些功能是為具有傳統(tǒng)振鏡和伺服平臺(tái)的激光加工應(yīng)用開發(fā)的。諸如加速限制之類的輪廓功能可用于自動(dòng)減小急轉(zhuǎn)彎或小半徑時(shí)的速度,以程度地減小過沖??梢曰趲в?/span>PSO的反射鏡的位置反饋來觸發(fā)激光,以確保隨著掃描儀速度的改變,一致的光斑重疊。

Aerotech的無限視場(chǎng)(IFOV)功能無縫地結(jié)合了伺服和掃描儀的運(yùn)動(dòng),從而在整個(gè)伺服平臺(tái)的整個(gè)行程范圍內(nèi)擴(kuò)展了掃描儀的標(biāo)記能力,從而消除了在更傳統(tǒng)的移動(dòng)-曝光-重復(fù)過程中可能發(fā)生的縫合錯(cuò)誤。




Aerotech AGV-SPO高性能單軸振鏡

高控科技  張巨鵬   1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8


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