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Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺(tái)

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品       牌

廠(chǎng)商性質(zhì)代理商

所  在  地蘇州市

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更新時(shí)間:2020-02-15 14:48:54瀏覽次數(shù):1114次

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商鋪產(chǎn)品:91條

所在地區(qū):江蘇蘇州市

聯(lián)系人:張生 (銷(xiāo)售主管)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

供應(yīng)Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺(tái)詳細(xì)介紹

Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅(qū)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),擁有超高精度的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。

詳細(xì)介紹


供應(yīng)Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺(tái)詳細(xì)介紹

    Aerotech ABL系列氣浮軸承直驅(qū)直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),擁有超高精度的定位功能,精度在0.2~0.5um之間。

設(shè)計(jì)特點(diǎn)

·         專(zhuān)為高性能掃描和檢查而設(shè)計(jì)

·         所有空氣軸承表面上的有效空氣預(yù)載

·         線(xiàn)性編碼器反饋提供亞納米分辨率

·         高剛性,可承受重載,并具有出色的幾何性能

·         行程達(dá)500毫米
 

前沿制造業(yè),特別是在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)中,要求的定位公差超出了傳統(tǒng)滾珠絲杠和機(jī)械軸承定位系統(tǒng)的能力。ABL1500空氣軸承臺(tái)具有*主動(dòng)的預(yù)緊力,*的剛度和出色的幾何特性,專(zhuān)門(mén)為滿(mǎn)足這些需求而設(shè)計(jì)。

空氣軸承設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)高動(dòng)態(tài)性能

ABL1500在垂直和水平表面上均帶有空氣預(yù)載功能。相對(duì)的薄膜壓力可保持軸承的名義間隙公差。除了大的空氣軸承表面可以將負(fù)載分配到較大的表面積上之外,這種設(shè)計(jì)還可以使平臺(tái)具有出色的剛度,非常適合重載或偏載。

專(zhuān)有的制造技術(shù)導(dǎo)致了具有無(wú)法超越的幾何特征的階段??諝廨S承具有固有的平均效應(yīng),可限度地提高性能。薄膜將填充小的表面空隙并允許其他不規(guī)則性。此特性可產(chǎn)生出色的螺距,滾動(dòng),偏航,直線(xiàn)度和平坦度規(guī)格。

直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)

此階段的驅(qū)動(dòng)力是Aerotech的BLMC系列無(wú)刷線(xiàn)性伺服電機(jī)。該設(shè)計(jì)體現(xiàn)了Aerotech作為電機(jī)制造商的悠久歷史和經(jīng)驗(yàn)。BLMC使用無(wú)鐵力,這意味著零齒槽效應(yīng)和無(wú)吸引力,從而實(shí)現(xiàn)了的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性。BLMC能夠產(chǎn)生高的力和速度,代表了功率和性能的結(jié)合。

零維護(hù)

我們的*非接觸式空氣軸承,非接觸式線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器和非接觸式反饋設(shè)備確保了Aerotech設(shè)備所期望的高性能水平下的多年免維護(hù)運(yùn)行。由于運(yùn)動(dòng)元件之間沒(méi)有機(jī)械接觸,所以隨著時(shí)間的流逝,ABL1500不會(huì)遭受磨損或性能下降。使用壽命幾乎是無(wú)限的,并且由于沒(méi)有潤(rùn)滑-只有清潔,干燥的氣體-空氣軸承是潔凈室和醫(yī)療應(yīng)用的理想選擇。

電纜管理

我們精心優(yōu)化電纜彎曲半徑,以確保多年*運(yùn)行。萬(wàn)一發(fā)生故障,Aerotech的模塊化設(shè)計(jì)使電纜更換變得快速簡(jiǎn)便,停機(jī)時(shí)間少。我們將所有客戶(hù)要求的電纜,空氣軟管等都包含在CMS捆綁包中,以便于集成到終系統(tǒng)中。兩端*連接,可輕松集成到客戶(hù)的機(jī)器中。

技術(shù)指標(biāo)

機(jī)械規(guī)格

模型

ABL1500-050

ABL1500-100

ABL1500-200

旅行

50毫米

100毫米

200毫米

準(zhǔn)確性(1)

E1

已校準(zhǔn)

±0.3微米

±0.3微米

±0.5微米

標(biāo)準(zhǔn)

±2.0微米

±4.0微米

±8.0微米

E3

已校準(zhǔn)

±0.2微米

±0.2微米

±0.4微米

標(biāo)準(zhǔn)

±1.0微米

±2.0微米

±5.0微米

重復(fù)性

(雙向)(1)

E1

±0.1微米

±0.2微米

E3

±0.05微米

±0.05微米

±0.1微米

直線(xiàn)度(1)

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

平面度(1)

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

瀝青

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

偏航

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空載)

力(連續(xù))

93.6 N

載重量(2)

臥式

35公斤

側(cè)

25公斤

運(yùn)營(yíng)壓力

80 psi±5 psig

耗氣量

24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移動(dòng)質(zhì)量(空載)

5.1公斤

舞臺(tái)質(zhì)量

14.7公斤

16.0公斤

18.6公斤

材料

MTBF(平均*時(shí)間)

30,000小時(shí)

·         通過(guò)每個(gè)階段的認(rèn)證。

·         列出了軸上加載的軸方向。

·         規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測(cè)量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點(diǎn)。有關(guān)多軸或非標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,請(qǐng)咨詢(xún)工廠(chǎng)。

·         為了防止空氣軸承承受負(fù)壓,建議在運(yùn)動(dòng)控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個(gè)在線(xiàn)壓力開(kāi)關(guān)。

·         供氣必須清潔,干燥至0°F露點(diǎn)并過(guò)濾至0.25 ?m或更高;建議使用純度為99.9%的氮?dú)狻?/span>

·         對(duì)于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

 

模型

ABL1500-300

ABL1500-400

ABL1500-500

旅行

300毫米

400毫米

500毫米

準(zhǔn)確性(1)

E1

已校準(zhǔn)

±0.5微米

±0.6微米

±0.6微米

標(biāo)準(zhǔn)

±12.0微米

±16.0微米

±20.0微米

E3

已校準(zhǔn)

±0.4微米

±0.5微米

±0.5微米

標(biāo)準(zhǔn)

±5.0微米

±5.0微米

±5.0微米

重復(fù)性

(雙向)(1)

E1

±0.2微米

±0.3微米

E3

±0.15微米

±0.2微米

直線(xiàn)度(1)

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

平面度(1)

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

瀝青

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

偏航

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空載)

力(連續(xù))

93.6 N

載重量(2)

臥式

35公斤

側(cè)

25公斤

運(yùn)營(yíng)壓力

80 psi±5 psig

耗氣量

24-30 SLPM @ 551 kPa(0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移動(dòng)質(zhì)量(空載)

5.1公斤

舞臺(tái)質(zhì)量

21.3公斤

23.9公斤

26.5公斤

材料

MTBF(平均*時(shí)間)

30,000小時(shí)

·         通過(guò)每個(gè)階段的認(rèn)證。

·         列出了軸上加載的軸方向。

·         規(guī)格適用于在桌面上方25 mm處測(cè)量的單軸系統(tǒng)。多軸系統(tǒng)的性能取決于有效載荷和工作點(diǎn)。有關(guān)多軸或非標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用,請(qǐng)咨詢(xún)工廠(chǎng)。

·         為了防止空氣軸承承受負(fù)壓,建議在運(yùn)動(dòng)控制器/放大器的ESTOP輸入上連接一個(gè)在線(xiàn)壓力開(kāi)關(guān)。

·         供氣必須清潔,干燥至0°F露點(diǎn)并過(guò)濾至0.25 ?m或更高;建議使用純度為99.9%的氮?dú)狻?/span>

·         對(duì)于XY配置,上軸行程為200 mm。如果上軸行程大于200 mm但等于或小于500 mm,則需要ABL1500WB作為下軸。

ABL系列定位平臺(tái)優(yōu)點(diǎn):

?幾何性能的氣浮導(dǎo)軌

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回饋干涉儀

?亞微米定位精度

?XY 和 XYZ 集成系統(tǒng)

?無(wú)槽直接驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)

同時(shí)我們還提供其他型號(hào)的納米級(jí)直線(xiàn)、旋轉(zhuǎn)高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),比如 pro系列,ANT95系列等等。

高控科技  張巨鵬   1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8


供應(yīng)Aerotech ABL系列氣浮精密定位平臺(tái)詳細(xì)介紹


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