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蘇州高控科技有限公司

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AKRIBIS 雅科貝思DGL XY懸臂式平臺

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產(chǎn)品簡介

AKRIBIS 雅科貝思DGL XY懸臂式平臺

· 懸臂式DGL XY 平臺

· 懸臂式DGL XY 平臺，采用雅科貝思標(biāo)準(zhǔn)模組DGL組成。

詳細(xì)介紹

AKRIBIS 雅科貝思DGL XY懸臂式平臺

· 懸臂式DGL XY 平臺

· 懸臂式DGL XY 平臺，采用雅科貝思標(biāo)準(zhǔn)模組DGL組成。

設(shè)計特點：
A. 無鐵芯直線電機(jī)直驅(qū)
B. 高精度以及精準(zhǔn)回零
C. 懸臂式結(jié)構(gòu)
懸臂式DGL XY平臺，采用雅科貝思標(biāo)準(zhǔn)模組DGL組成。具有良好的剛性性能，以及良好的定位精度。

窗體頂端

模組配置

模組	運(yùn)動軸	電機(jī)型號	有效行程（mm）	運(yùn)動總質(zhì)量（Kg）	總質(zhì)量（Kg）	傳感器限位（mm）	硬限位（mm）
DGL180	上軸	AUM3-S2	200-300	查看表2	查看表3	行程+4	行程+20
		AUM3-S3
		AUM3-S4
DGL200	下軸	AUM4-S2	200-600	A	B	行程+4	行程+20
		AUM4-S3
		AUM4-S4

A=表格2（下軸）+表格3+6.12（連接塊質(zhì)量，Kg）
B=A+表格4
軸運(yùn)動質(zhì)量

滑架尺寸	S2	S3	S4
上軸	2	2.5	2.7
下軸	2.4	3.1	3.4

上軸的總質(zhì)量

有效行程/上軸質(zhì)量（g）	200	300
電機(jī)線圈尺寸S2	17.04	20.44
電機(jī)線圈尺寸S3	18.26	22.94
電機(jī)線圈尺寸S4	20.74	23.24

下軸的總質(zhì)量

有效行程/下軸質(zhì)量（g）	200	300	400	500	600
電機(jī)線圈尺寸S2	16.4	19.8	22.3	25.7	29.1
電機(jī)線圈尺寸S3	18.9	22.3	24.9	28.3	31.7
電機(jī)線圈尺寸S4	20.1	22.6	26.1	29.5	32

性能參數(shù)

規(guī)格參數(shù)	單位	DGL180	DGL200
¹直線度	μm	±3μm/25mm	±3μm/25mm
¹直線度		NTE±10μm/300mm	NTE±10μm/300mm
¹平面度		±3μm/25mm	±3μm/25mm
¹平面度		NTE±10μm/300mm	NTE±10μm/300mm
重復(fù)精度（1μm分辨率）		±3μm（40μm光柵柵距）	±3μm（40μm光柵柵距）
重復(fù)精度（0.5μm分辨率）		±1.5μm（20μm光柵柵距）	±1.5μm（20μm光柵柵距）
重復(fù)精度（0.1μm分辨率）		±1μm（20μm光柵柵距）	±1μm（20μm光柵柵距）
重復(fù)精度（模擬量）		±5 counts	±5 counts
X-Y正交性	Arc-sec	10	10

注：所有的測量數(shù)據(jù)基于模組安裝在平面度為5um的花崗巖臺面上。
1 電機(jī)線長度是在下軸滑架安裝之后測量所得
下載附件：DGL XY_技術(shù)參數(shù)

窗體底端

窗體頂端

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張先生
蘇州高控科技有限公司
地址：蘇州工業(yè)園區(qū)星桂街33號鳳凰大廈1406室
1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8
1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8

AKRIBIS 雅科貝思DGL XY懸臂式平臺

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