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北京普瑞分析儀器有限公司
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氯硅烷中組分分析檢測(cè)方案氣相色譜儀

時(shí)間:2022/8/23閱讀:84
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氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性,需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測(cè)系統(tǒng)。普瑞GC-9280型氣相色譜儀采用六通閥進(jìn)樣,并裝有液體進(jìn)樣氣化室,兼分析液態(tài)氯硅烷。

1.氣態(tài)氯硅烷組分分析的方法原理  氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性,需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測(cè)系統(tǒng)。本方法采用六通閥進(jìn)樣,并裝有液體進(jìn)樣氣化室,兼分析液態(tài)氯硅烷。  

2.適用范圍  適用于氣態(tài)氯硅烷組分分析  

3.分析依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)  YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測(cè)定 氣相色譜法  

4.氣態(tài)氯硅烷組分分析氣相色譜描述 

4.1. 用途  氣態(tài)氯硅烷組分分析,如二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅。

4.2. 儀器型號(hào)  北京普瑞儀器有限公司GC-9280型氣相色譜儀  

4.3. 系統(tǒng)配置描述  本方案配置了雙閥進(jìn)樣口,雙液體進(jìn)樣口,兩閥四柱,2 個(gè) TCD 檢測(cè)器等組成。

5. 技術(shù)參數(shù)

電源

AC220V±10%  50Hz   2200W

工作環(huán)境

環(huán)境溫度:5~35℃,相對(duì)濕度:≤85%,室內(nèi)無(wú)腐蝕性氣體,工作臺(tái)平穩(wěn)無(wú)振動(dòng),周?chē)鸁o(wú)強(qiáng)磁場(chǎng)存在

相關(guān)配件

檢測(cè)器(根據(jù)用戶(hù)需求搭配)

氫火焰離子化檢測(cè)器(FID)

熱導(dǎo)池檢測(cè)器(TCD)

電子捕獲檢測(cè)器(ECD)

火焰光度檢測(cè)器(FPD)

氮磷檢測(cè)器(NPD)

自動(dòng)進(jìn)樣器(選配)

島津AOC-20i

HTA公司的HT系列高效氣相液體自動(dòng)進(jìn)樣器

柱溫箱

爐膛尺寸

280×300×180mm

溫度范圍

室溫+5~400℃

溫度設(shè)定

1˚C;程序設(shè)定升溫速率0.1˚C

色譜柱溫度穩(wěn)定性

當(dāng)環(huán)境溫度變化1˚C時(shí),為0.01˚C

程升階數(shù)

16階

程升速率

0.1℃-40℃/min(增量0.1℃)

氫火焰離子化

檢測(cè)器(FID)

操控溫度

400℃

檢測(cè)限

≤5×10-12g/s   [n-C16]

漂移

≤5×10-13A/30min

噪音

≤2×10-13A

動(dòng)態(tài)線性范圍

≥107

熱導(dǎo)池檢測(cè)器

(TCD)

操控溫度

400℃

靈敏度

≥6000mv.ml/mg   [苯/甲苯]

漂移

≤100uV/30mi

噪音

≤20uV

動(dòng)態(tài)線性范圍

≥104

 

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