儀器簡介:
瑞士CSM的動態(tài)超顯微硬度計廣泛用于表征各種涂鍍層、薄膜的機械性能、產品品質,包括硬度、彈性模量和斷裂韌性等,表征的材料幾乎包括所有類型的材料:柔軟、硬質、脆性或延展性材料。
技術參數(shù):
技術參數(shù)載荷范圍:0.1-500mN(可選0.03-30N);
載荷分辨率:0.04µN;
深度分辨率:0.04nm;
瑞士CSM的動態(tài)超顯微硬度計的應用領域:
1)半導體技術:保護層、金屬層等
2)數(shù)據(jù)存儲:磁盤保護涂層、圓盤基底上的磁性涂層、CD上的保護涂層等
3)光學元件:隱形眼鏡、光學抗劃涂層、接觸棱鏡
4)裝飾涂層:蒸發(fā)金屬涂層
5)抗磨損涂層:TiN、TiC、DLC、刀具、模具、手機外殼等
6)藥理學:藥片和藥丸、植入器官、生物組織
7)汽車:油漆和聚合物、清漆和修飾、玻璃窗、剎車片
8)一般工程技術應用:抗耐性橡膠、觸摸屏、潤滑劑和潤滑油、滑動軸承、自潤滑系統(tǒng)
9)MEMS微電子領域等
瑞士CSM的動態(tài)超顯微硬度計的主要特點:
1.無需光學測量殘留壓痕對角線長度,全自動獲得壓入硬度、維氏硬度、彈性模量等,同時獲得載荷和位移對應的曲線
2.最小載荷可至10mg力(0.1mN),最小壓入深度可至100nm,有效克服基底效應,適合微米至納米級鍍層(涂層)或薄膜的機械性能表征
3.可同時獲得硬度和楊氏模量數(shù)據(jù)
4.符合ISO 14577標準
5.有效克服熱漂移對測量結果的影響
瑞士CSM儀器公司主要產品包括:
測量材料硬度和彈性模量的納米級、微米級儀器化壓入測試儀(納米壓痕儀, 顯微壓痕儀);
界定膜基結合強度、薄膜抗劃擦能力的納米級、微米級、大載荷劃痕測試儀 (Scratch tester) ;