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深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司


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Stripe CDG045Dhs 高速電容式隔膜真空計(jì)

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Stripe CDG045Dhs 高速電容式隔膜真空計(jì)

詳細(xì)介紹

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000乇 / 毫巴, 新 10毫乇

INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計(jì)目前是速、高度準(zhǔn)確的真空儀器。響應(yīng)時(shí)間不到 2
ms，配備 EtherCAT
現(xiàn)場(chǎng)總線接口，開(kāi)拓了全新的應(yīng)用領(lǐng)域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長(zhǎng)期提供出眾的量程穩(wěn)定性，而且具有的零位穩(wěn)定性。Stripe 隨附
INFICON 已獲的傳感器屏蔽，用于保護(hù)真空計(jì)，使其免受不需要的過(guò)程副產(chǎn)品的影響。INFICON Stripe
使用創(chuàng)新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和的速度性能，可實(shí)現(xiàn)的生產(chǎn)力提升，使其成為同類產(chǎn)品中的真空儀器。


Stripe CDG045Dhs 贏得了 2014 研發(fā) 100
大獎(jiǎng)??！






益處

  • 高生產(chǎn)力 - 響應(yīng)時(shí)間快于 2ms
  • 靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場(chǎng)總線
  • 使用壽命長(zhǎng) - 經(jīng)驗(yàn)證的陶瓷傳感器
  • 忘記重新校準(zhǔn) - 90ppm/年穩(wěn)定性

典型應(yīng)用

  • 原子層沉積
  • 高速過(guò)程控制
  • PVD、CVD、刻蝕
  • 一般高溫真空應(yīng)用

零件號(hào)



規(guī)格

類型 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar 0.02 ... 0.01Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 -
精度 % of reading - 0.2
溫度效應(yīng)
零點(diǎn) percent FS/°C 0.0025 -
在零點(diǎn) 0.5 ... 0.05 乇/毫巴 percent FS/°C 0.005 -
在零點(diǎn) 0.02 ... 0.01 乇 percent FS/°C - 0.01
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01
壓強(qiáng)
P 1000乇/毫巴 kPa (absolute) 400 400
P 500 ... 1乇/毫巴 kPa (absolute) 260 260
P 0.5 ... 0.01乇/毫巴 kPa (absolute) 130 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5
溫度
運(yùn)行（環(huán)境） °C +10 … +40 +10 … +40
在法蘭處烘烤 °C ≤110 ≤110
貯存 °C –20 … +85 –20 … +85
電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗
加熱時(shí) W ≤14 ≤14
運(yùn)行溫度 W ≤9 ≤9
輸出信號(hào)（模擬） V (dc) 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 2
保護(hù)等級(jí) IP 30 IP 30
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī) SEMI S2 SEMI S2
電氣連接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
設(shè)定點(diǎn)
設(shè)定點(diǎn)數(shù)量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
繼電器觸點(diǎn) V (dc)A (dc) ≤30 ≤30
滯后 percent FS 1 1
診斷端口
協(xié)議 USB USB
讀數(shù) pressure, status, ID pressure, status, ID
設(shè)置 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管 cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
內(nèi)部容積 8 VCR® cm3 (in.3) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
重量
重量 1/2'' 管 g 837 837
重量 DN 16 ISO KF g 852 852
重量 DN 16 CF-R g 875 875
重量 8 VCR® g 897 897
EtherCAT
協(xié)議 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
通訊標(biāo)準(zhǔn) ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
節(jié)點(diǎn)地址 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
物理層 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
數(shù)字功能讀取 pressure, status, ID pressure, status, ID
數(shù)字功能設(shè)置 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
過(guò)程數(shù)據(jù) Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
郵箱 (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 連接器 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
電纜 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
電纜長(zhǎng)度 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1) 非線性，遲滯，在 25 °C 環(huán)境工作溫度中的可重復(fù)性，2 小時(shí)工作后無(wú)溫度影響。

(2) 提高 10 … 90 % FS


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