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德國 Diener 等離子清洗機(jī)

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Diener等離子表面處理設(shè)備德國德國Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司,是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場(chǎng)和技術(shù)者

詳細(xì)介紹

Diener等離子表面處理設(shè)備 德國

德國Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司, 是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場(chǎng)和技術(shù)者。Diener采用*的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的質(zhì)產(chǎn)品，以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。

德國diener等離子表面處理設(shè)備特點(diǎn)：

等離子清洗機(jī)清洗效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣。

對(duì)清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求

等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。

射頻功率無極連續(xù)可調(diào)。

高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。

特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間，使處理大化，同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

的過載、短路和過熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。

設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)極為簡(jiǎn)單。

德國diener等離子表面處理設(shè)備多種系列：

Diener等離子表面處理設(shè)備 PICO PCCE 全自動(dòng)

圖片公供參考

主要技術(shù)參數(shù)：

1. *全自動(dòng)PCCE控制系統(tǒng),可存儲(chǔ)50套程序。

2. *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定真空泵啟動(dòng)與停止、發(fā)生器的功率、反應(yīng)腔體壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)

3. 雙路工作氣體，MFC質(zhì)量流量計(jì)

4. *反應(yīng)艙為方形鋁制腔體w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm帶有鉸鏈門，門帶有觀察窗。

5. *發(fā)生器100 kHz, 0 – 500 W連續(xù)可調(diào)，反射波自動(dòng)調(diào)節(jié)。

6. 電極材質(zhì)為鋁制。

7. 真空泵抽氣能力8m3/h

8. *配有壓力傳感器，實(shí)時(shí)顯示壓力值

9. 電源電壓：?jiǎn)蜗郃C230V 16A

配置清單：

	數(shù)量	備注
主機(jī)	一臺(tái)	Diener PICO
真空泵（國內(nèi)采購）	一臺(tái)	VRD-8油泵
電源線	一根	2mm
操作說明書	一本

操作面板

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