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濺射陰極

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產(chǎn)品簡介

根據(jù)使用需求，選型定做 為你提供更適合更的陰極及靶材...

詳細介紹

美國Angstrom Sciences公司 濺射陰極及靶材

 美國安斯超科學(xué)公司(Angstrom Sciences，Inc)成立于1988年,，是一家

專業(yè)從事物理氣相沉積磁控濺射陰極及濺射靶材的高科技專業(yè)公司，專利

的磁場設(shè)計和的水冷技術(shù)使其產(chǎn)品倍受歡迎。安斯超公司對磁控濺射

靶陰極的磁體外形和冷卻循環(huán)結(jié)構(gòu)進行了科學(xué)合理地優(yōu)化設(shè)計，并且選取

更強的磁體（比稀土磁體強30％），從而使安斯超的靶陰極比常規(guī)的靶陰

有更為的性能。



核心技術(shù)及特點：

特殊設(shè)計的磁體結(jié)構(gòu)，使得磁場線跨度范圍更寬，從而提高靶材的利用率和膜層的均勻性

湍流冷卻技術(shù)，使得水流能夠更平緩的進入陰極，從而提高冷卻效果

特殊設(shè)計的耙材固定結(jié)構(gòu)，使得耙材更換起來更簡單，降低停工期

的磁體材料 NdFeB，他的強度比其他的稀土磁體要強30%

的靶材利用率，可以達到50%，從而降低靶材成本

的產(chǎn)品均勻性，可以達到±3% 

可以在更低的真空以及更高的功率下運行：壓力可以達到10-4TOR

直接水冷結(jié)構(gòu)可以提高其功率密度達到250Watt s/in2

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