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SU9000超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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產品簡介

專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導體器件，高分辨成像所設計。新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。采用全新設計的Super E x B能量過濾技術，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。0.4 nm / 30 kV (SE)1.2 nm / 1 kV (SE)0.34 nm / 30 kV (STEM)

詳細介紹

SU9000.jpg


專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的半導體器件，高分辨成像所設計。


  • 新的電子槍和電子光學設計提高了低加速電壓性能。


  • 采用全新設計的Super E x B能量過濾技術，高效，靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

  • 0.4 nm / 30 kV (SE)
    1.2 nm / 1 kV (SE)
    0.34 nm / 30 kV (STEM)




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