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高剛性研磨機(jī)--HRG3002

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間：2023-10-09 12:52:25瀏覽次數(shù)：183次

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高剛性研磨機(jī)--HRG300

詳細(xì)介紹

高剛性研磨機(jī)--HRG300

HRG300 既可以對(duì)大尺寸晶圓（300 ｍｍ）進(jìn)行單枚加工，也可以對(duì)小直徑工件進(jìn)行多枚同時(shí)加工。

 

特點(diǎn)

     ■ 高剛性

     ■ 高加工效率

     ■ 低消耗

     ■ 搭載多枚同時(shí)加工的 IPG 功能

     ■ 加工時(shí)的磨輪修正單元（選配）

 

可研磨材料：難加工的硬脆材料，比如藍(lán)寶石，碳化硅，氮化鎵和氮化鋁

可加工尺寸：直徑2-12英寸

可加工厚度：20mm(包含基座)

 

●規(guī)格參數(shù)

 

類別

HRG300

高剛性研磨機(jī)

設(shè)備尺寸和重量

尺寸：1540（W）×1880(D)×2010(H) mm

重量：3700 kg

加工直徑（mm）

300

磨輪直徑（mm）

300

磨輪轉(zhuǎn)速（rpm）

3600

工作臺(tái)轉(zhuǎn)速(rpm)

400

主軸功率(KW)

11

工作臺(tái)功率（KW）

2

全自動(dòng)監(jiān)測(cè)

實(shí)時(shí)測(cè)量治具（支持多片同時(shí)加工）

研磨精度（μm）

0.1

不間斷修磨

選配

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