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行業(yè)產(chǎn)品

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大塚電子（蘇州）有限公司


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MCPD series 嵌入式膜厚測(cè)試型

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時(shí)間：2024-01-09 10:49:25瀏覽次數(shù)：110次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

本公司的MCPD series，由于采用柔軟纖維的事，從In-Situ到內(nèi)聯(lián)各種各樣的地方和用途的編入成為可能。測(cè)量原理為分光干涉方式，在實(shí)現(xiàn)高測(cè)量再現(xiàn)性的同時(shí)，還支持多層厚度測(cè)量。通過采用獨(dú)自算法，可以高速實(shí)時(shí)監(jiān)控。...

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息

特　點(diǎn)

●膜厚測(cè)量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）

●最短曝光時(shí)間1ms~※根據(jù)規(guī)格

●由于是柔性纖維光學(xué)系統(tǒng)，容易組裝到半導(dǎo)體工藝裝置中

●可從上層遠(yuǎn)程控制

●于研磨中膜厚終點(diǎn)檢測(cè)

基本配置

基本構(gòu)成図(1).png

裝置組裝示意圖


組込みイメージ.png


測(cè)量案例

測(cè)定例.png


  適應(yīng)過程示例

CMP工藝

蝕刻工藝

成膜工藝

等等

仕様

MCPD-9800仕様

1686105796157.jpg

MCPD-9800仕様

1686105880964.jpg



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