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行業(yè)產(chǎn)品

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山東濟寧魯超超聲設備有限公司


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濕法腐蝕清洗系統(tǒng)

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更新時間：2025-02-25 11:49:05瀏覽次數(shù)：27次

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所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

主要特點：成熟的模塊化工藝組合可面向用戶工藝需要

詳細介紹

濕法腐蝕清洗系統(tǒng)(圖1)

 

 

主要特點：

成熟的模塊化工藝組合

可面向用戶工藝需要，定制化設計

已應用于20nm級別IC工藝線

針對LED生產(chǎn)線，提高整體解決方案

全自動清洗/手動清洗可選

整機防漏液設計

廣泛應用于Ic、MEMS、LED、PV、電力電子、半導體材料等行業(yè)

標準配置：

高純進口板材

高結(jié)晶工藝管道

高潔凈氣動閥門

防腐機械手

伺服電機驅(qū)動

人機對話界面，觸摸屏操作

標準工藝模塊

SC-I溶液腐蝕槽

SC-II溶液腐蝕槽

SC-III溶液腐蝕槽

QDR槽

循環(huán)清洗槽

超聲/兆聲清洗槽

可選模塊：

鼓氮

水溶超聲/水浴兆聲槽

槽內(nèi)加熱/制冷循環(huán)

漏液檢測

水阻檢測

自動供液系統(tǒng)

自動配液系統(tǒng)

自動滅火系統(tǒng)（有機清洗）

ESD功能（有機清洗）

MES接口（可選）


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