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行業(yè)產(chǎn)品

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柯岷國際貿易（上海）有限公司


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FIB-SEM三束系統(tǒng) NX2000

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海市

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更新時間：2023-09-28 13:05:27瀏覽次數(shù)：120次

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商鋪產(chǎn)品：32條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：宋先生

產(chǎn)品簡介

在設備及高性能納米材料的評價和分析領域，F(xiàn)IB-SEM已成為的工具。近來，目標觀察物更趨微細化；更薄，更低損傷樣品的制備需求更進一步凸顯。日立高新公司，整合了高性能FIB技術和高分辨SEM技術，再加上加工方向控制技術以及Triple Beam®＊1（選配）技術，推出了新一代產(chǎn)品NX2000。

詳細介紹

◆ 運用高對比度，實時SEM觀察和加工終點檢測功能，可制備厚度小于20 nm的超薄樣品

日立掃描電子顯微鏡

FIB加工時的實時SEM觀察＊2例

樣品：NAND閃存

加速電壓：1 kV

FOV：0.6 µm


◆ 加工方向控制技術（Micro-sampling®＊3系統(tǒng)（選配）+高精度/高速樣品臺＊）對于抑制窗簾效應的產(chǎn)生，以及制作厚度均一的薄膜類樣品給予厚望。

日立掃描電子顯微鏡     日立掃描電子顯微鏡

                  加工方向控制                                      常規(guī)加工時


◆ Triple Beam®＊1（選配）可提高加工效率，并能使消除FIB損傷自動化

日立掃描電子顯微鏡

EB：Electron Beam（電子束）

FIB：Focused Ion Beam（聚焦離子束）

Ar：Ar ion beam（Ar離子束）


日立掃描電子顯微鏡

選購件:

image.png Ar/Xe離子束系統(tǒng)

image.png Micro-sampling®＊3系統(tǒng)

image.png 缺陷檢測設備聯(lián)用軟件

image.png CAD聯(lián)用導航軟件

image.png EDS（能譜儀）

image.png TEM樣品精加工向導

image.png TEM樣品厚度管理軟件

image.png 連續(xù)A-TEM

image.png 實時畫質優(yōu)化系統(tǒng)

image.png Swing加工功能（用于Triple Beam®＊1）

image.png 等離子清洗機

image.png 真空轉移機構

image.png 冷臺



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