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武漢泰和豐順光電有限公司


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CDG045D高精度真空計(jì)

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CDG045D高精度真空計(jì) INFICON SKY CDG045D 壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)高精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG045D 真空計(jì)溫度控制在 45 °C，具有的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的線性壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號(hào)穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時(shí)間短和使用壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)勢(shì)。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)，成本效益，適用于苛刻的真空應(yīng)用。

詳細(xì)介紹

益處

  • 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
  • 易于集成，各種滿刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
  • 輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
  • 診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
  • 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
  • 的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無(wú)需長(zhǎng)期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
  • 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

  • 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程
  • 化學(xué)和腐蝕性真空過(guò)程
  • 一般薄膜和真空過(guò)程
  • 作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測(cè)試儀器是否符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)
  • 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測(cè)量可追溯性

規(guī)格

類型 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.05Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.15 0.15 0.15
溫度效應(yīng)      
零點(diǎn) percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01
壓力， kPa (absolute) 400 260 130
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003
讀數(shù) percent FS 0.01 0.01 0.01
建議的讀數(shù) percent FS 0.05 0.05 0.05
建議的控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5
溫度      
運(yùn)行（環(huán)境） °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
在法蘭處烘烤 °C ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
電源電壓 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
功耗      
加熱時(shí) W ≤12 ≤12 ≤12
運(yùn)行溫度 W ≤8 ≤8 ≤8
輸出信號(hào)（模擬） V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
反應(yīng)時(shí)間 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
保護(hù)等級(jí) IP 40 IP 40 IP 40
標(biāo)準(zhǔn)      
CE 合規(guī) EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 認(rèn)證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
SEMI 合規(guī)
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