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PPR系列過程檢測(cè)系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力·3 × 10 -5 Torr-L/s 流量·2 秒響應(yīng)時(shí)間 (0.1 Torr)·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)·6個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍·RGA Windows 軟件

詳細(xì)介紹

商品描述

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力

·3 × 10 -5  Torr-L/s 流量

·2 秒響應(yīng)時(shí)間 (0.1 Torr)

·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)

·6個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍

·RGA Windows 軟件


PPR 系列過程監(jiān)控系統(tǒng)

PPR 過程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)。為殘余氣體分析儀 (RGA) 提供了兩條路徑：用于監(jiān)測(cè)基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑和用于在工作壓力下監(jiān)測(cè)過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個(gè)微孔，設(shè)計(jì)用于在以下壓力之一下運(yùn)行：0.01、0.1、1 或 10 托。它將樣品壓力降低到 RGA 的工作壓力（約10-6 Torr）。該壓降由由混合渦輪分子泵和隔膜泵組成的泵送系統(tǒng)維持。兩個(gè)泵都是無油的，不會(huì)污染您的過程。

連接到您的工藝室的入口組件可以通過多種方式進(jìn)行配置（參見圖紙）。該系統(tǒng)包括 RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的 Windows 軟件程序。

該軟件用于在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時(shí)間模式。法拉第杯和電子倍增器探測(cè)器都是 PPR 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR 系統(tǒng)在出廠時(shí)已組裝和校準(zhǔn)，可以連接到您的真空處理室。

幾何A

幾何 B



PPR 規(guī)格

表現(xiàn)

氣體流量3 × 10 -5 mbar-L/s，減壓入口處于活動(dòng)狀態(tài)
響應(yīng)時(shí)間0.1 mbar 入口壓力下 2 秒（隨壓力成線性比例）
啟動(dòng)時(shí)間標(biāo)稱 8 分鐘

連接

進(jìn)口2.75" CF法蘭，帶通孔可旋轉(zhuǎn)
渦輪泵到控制器6 英尺電纜（已提供）
渦輪增壓到前級(jí)泵6 英尺軟管（提供），
1/4" ID × 7/16" OD
電腦接口RS-232C（28,800 波特，9 針 D 連接器）
軟件RGA Windows 應(yīng)用程序

泵

高真空混合渦輪分子/阻力泵，70 L/s，
極限壓力2 × 10 -9  mbar
后盾極限壓力小于 1 mbar 的隔膜泵。防護(hù)等級(jí) IP44
冷卻需要強(qiáng)制風(fēng)冷

一般的

電源要求110 VAC @ 60 Hz，
220 VAC @ 50 Hz
（不可現(xiàn)場(chǎng)選擇，300 W）
方面因配置而異
（請(qǐng)參閱示例配置）
重量16 磅。（渦輪泵、旁通閥和三通，RGA）
33 磅。（隔膜泵和控制器）
保修單一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。


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