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超薄超細(xì)高斯計(jì)探頭

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超薄超細(xì)高斯計(jì)探頭也叫特斯拉計(jì)傳感器特點(diǎn)如下:⒈探頭穩(wěn)定性問題:霍爾探頭的穩(wěn)定性與傳感器所用材料、生產(chǎn)工藝、設(shè)計(jì)及封裝均有很大關(guān)系,我們把穩(wěn)定性又分為長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性和高溫工作穩(wěn)定性

詳細(xì)介紹

超薄超細(xì)高斯計(jì)探頭也叫特斯拉計(jì)傳感器

特點(diǎn)如下:

⒈探頭穩(wěn)定性問題:霍爾探頭的穩(wěn)定性與傳感器所用材料、生產(chǎn)工藝、設(shè)計(jì)及封裝均有很大關(guān)系,我們把穩(wěn)定性又分為長(zhǎng)期工作穩(wěn)定性和高溫工作穩(wěn)定性。為此提出不等位電勢(shì)時(shí)漂、不等位電勢(shì)溫漂、霍爾輸出時(shí)漂、霍爾輸出溫漂、霍爾輸出平均溫度系數(shù)和內(nèi)阻溫度系數(shù)等參數(shù)的篩選和測(cè)試方法,保證探頭質(zhì)量。
⒉靈敏度問題:靈敏度與材料遷移率、厚度和版圖設(shè)計(jì)有關(guān),高靈敏度雖使后續(xù)電路設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,但會(huì)帶來輸出的不穩(wěn)定,因此用于計(jì)量時(shí)選用靈敏度適中,穩(wěn)定性好的探頭。這里特別指出國(guó)外低價(jià)霍爾都是離子注入然后退火工藝,晶格損傷嚴(yán)重不適合高精度測(cè)量。
⒊不等位電勢(shì):實(shí)驗(yàn)表明不等位電勢(shì)對(duì)探頭的溫度特性、電流特性及線性度有著一定規(guī)律,篩選不當(dāng)直接影響整機(jī)測(cè)試精度。
⒋線性度:傳感器的材料、版圖幾何圖形和結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)三方面對(duì)其線性度影響,當(dāng)然線性度可以用計(jì)算機(jī)補(bǔ)償,但總希望獲得線性度好的探頭,以避免探頭參數(shù)的分散性帶來建立補(bǔ)償模型的麻煩。
⒌探頭的可逆性(對(duì)稱性):由于材料和歐姆接觸工藝等方面原因引起,造成正負(fù)磁場(chǎng)測(cè)試誤差。
⒍可靠性及長(zhǎng)期壽命:霍爾探頭是一種體效應(yīng)器件,我們采取的鈍化技術(shù)解決了表面及界面問題,MTBF遠(yuǎn)大于107 小時(shí)。
⒎器件封裝問題:探頭分為徑向、軸向、正交和三維探頭四大類,尺寸上又分為標(biāo)準(zhǔn)型、超薄型和超細(xì)型及繞性探頭,目前我們的設(shè)備和工藝水平達(dá)到國(guó)家水平。

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