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全自動(dòng)真空立式烤箱

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地合肥市

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更新時(shí)間：2024-12-16 10:23:19瀏覽次數(shù)：49次

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：28條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品用途：真空面向是晶圓和封裝段應(yīng)用于低溫烘烤，烘干，除水。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)：


型號(hào)

TASZ3050D203-N

TASZ3050D403-N

產(chǎn)品特點(diǎn)

 可搭載OHT實(shí)現(xiàn)無人化操作，節(jié)省空間，真空下低溫烘烤縮短工藝時(shí)間，產(chǎn)品保護(hù)產(chǎn)品性能提升。

氧氣含量

50PPM

工藝溫度

室溫+30-300℃

產(chǎn)品規(guī)格

8/12inch 晶圓

存放數(shù)量

50PCS/管

加熱器

熱電阻加熱

上料口

2個(gè)

機(jī)械手

1

溫度范圍

長(zhǎng)期使用溫度: 200℃，溫度：300℃

升溫速率

1~5℃/min

降溫速率

3℃/min

加熱功率

22KW

加熱溫區(qū)

3個(gè)

爐溫均勻性

±3℃

控溫?zé)崤?/span>

K分度

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐腔材料

SUS316L

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計(jì)調(diào)節(jié)進(jìn)氣

氣氛

N2

真空度

≤10pa

潔凈度

Class 100

翹曲度

12寸翹曲度≤2mm；

8寸翹曲度≤1mm

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