国产一级a毛一级a看免费视频,久久久久久国产一级AV片,免费一级做a爰片久久毛片潮,国产精品女人精品久久久天天,99久久久无码国产精品免费了

行業(yè)產(chǎn)品

  • 行業(yè)產(chǎn)品

深圳市長(zhǎng)豐檢測(cè)設(shè)備有限公司


RPS晶圓干法去膠機(jī)

返回列表頁
參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

紡織服裝機(jī)械網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-05-08 10:40:40瀏覽次數(shù)：130次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、常規(guī)參數(shù)1.安裝尺寸：1300*2300*2000mm（寬*長(zhǎng)*高）2.設(shè)備參數(shù)配置：三相電壓380V，50/60Hz，總電流不超過50A;3.設(shè)備部署環(huán)境：萬級(jí)淨(jìng)化間,溫度21~23℃，相對(duì)濕度45±5%

詳細(xì)介紹

一、常規(guī)參數(shù)

1.安裝尺寸：1300*2300*2000mm（寬*長(zhǎng)*高）

2.設(shè)備參數(shù)配置：三相電壓380V，50/60Hz，總電流不超過50A;

3.設(shè)備部署環(huán)境：萬級(jí)淨(jìng)化間, 溫度21~23℃，相對(duì)濕度45±5%；

4. MTTR/平均故障修復(fù)時(shí)間＜4小時(shí)，MTBF/平均時(shí)間＞250小時(shí),

Uptime/正常運(yùn)行時(shí)間≥92% .

5. Wafer Breakage/碎片率≤1/10000PCs

6.Descum WPH/descum 產(chǎn)能≥90wafers（基於20秒descum工藝時(shí)間程式）

7.base pressure/腔體底壓≤20mTorr；leakage check腔體漏率≤10mtorr/min

8.Partical/顆粒度 :＜30ea@0.2um  腔體單次傳片大於0.2um的顆粒增加量小於20顆

9.支持SECS/GEM通訊協(xié)議

二、技術(shù)規(guī)格

2.1設(shè)備規(guī)格

主機(jī)部分

No.

Item/專案

Specification/規(guī)格說明

1

Plasma Source

 

RPS Plasma Source/微波等離子源,1000W, 2.45GHz

RF bias（底部射頻偏壓） 600W，13.56MHz

2

Process Chamber

工作臺(tái)chuck溫度範(fàn)圍: 20~50℃;

可選chuck控溫：50~250℃

水冷機(jī)控溫

適合wafer尺寸: 200mm wafer

腔體數(shù)量: 2個(gè) Al 6061 腔體

腔體自動(dòng)門：中國臺(tái)灣AdvanTorr

3

Gas Supply System

單個(gè)腔體工藝氣路：3路

MFC品牌：MKS

腔體氣路: O2/N2/Ar，CF4為選配氣體

4

Vacuum System

幹泵: 愛德華

壓力控制: Throttle valve 蝶閥 中國臺(tái)灣HTC

真空計(jì):Inficon Vacuum Gauge

5

Auto Wafer Transfer  System

上料臺(tái)：2 cassette 上料臺(tái)，適合 8 inch wafers；

Cassette wafer mapping：晶圓擺放檢測(cè)

VAC Robot； 日本JEL

6

Control System

PC：工業(yè)電腦 Windows系統(tǒng)控制；

操作軟體: 介面友好，圖形化視圖，自動(dòng)保存log檔

7

Safety System

EMO: 三個(gè)急停按鈕

Interlock硬體安全互鎖: 硬體互鎖包括 Power/Temp/Vacuum



您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN

紡織服裝機(jī)械網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ? Copyright(C)?2021 http://www.superheroescape.com,All rights reserved.

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，紡織服裝機(jī)械網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。 溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

會(huì)員登錄

×

請(qǐng)輸入賬號(hào)

請(qǐng)輸入密碼

=

請(qǐng)輸驗(yàn)證碼

收藏該商鋪

請(qǐng) 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功！我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~