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球差場(chǎng)發(fā)射透射電子顯微鏡 HF5000

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場(chǎng)FE電子槍鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)以及樣品桿支持高立體角EDX*的對(duì)稱配置（對(duì)稱Dual SDD*）采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*

詳細(xì)介紹

概述

產(chǎn)品參數(shù)

200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能

通過(guò)單極片實(shí)現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700"的球面像差校正器的功能、自動(dòng)校正功能，像差校正后的SEM圖像和對(duì)稱Dual SDD技術(shù)等特點(diǎn)。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)。
對(duì)于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶，我們提供亞?級(jí)空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。

※
附帶第二顯示器（可選），顯示屏為嵌入式合成界面。

標(biāo)配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動(dòng)校正功能）
搭載具有高輝度、高穩(wěn)定性的冷場(chǎng)FE電子槍
鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機(jī)體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時(shí)觀察原子分辨率SE圖像
采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺(tái)結(jié)構(gòu)以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對(duì)稱配置（對(duì)稱Dual SDD*）
采用全新構(gòu)造的機(jī)體外殼蓋
配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*

產(chǎn)品參數(shù)

主要規(guī)格

項(xiàng)目		內(nèi)容
電子源		W（310）冷陰極場(chǎng)發(fā)射型
加速電壓		200 kV、60 kV*1
圖像分辨率	STEM	0.078 nm（ADF-STEM圖像）
圖像分辨率	TEM	0.102 nm（晶格像）
倍率	STEM	×20～×8,000,000
倍率	TEM	×100～×1,500,000
樣品微動(dòng)	樣品臺(tái)	偏心測(cè)角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺(tái)
	樣品尺寸	3 mm Φ
	移動(dòng)范圍	X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm
	樣品傾斜	α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1）
像差校正器		配有日立照射系統(tǒng)球面像差校正器（標(biāo)配）
圖像顯示	PC	Windows® 7 *2
	顯示器	27英寸寬屏液晶顯示器（機(jī)體控制顯示器、第二顯示器*1）
	攝像頭	標(biāo)配伸縮式攝像頭屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察）

機(jī)體尺寸/重量

項(xiàng)目	寬度×進(jìn)深×高度（mm）	重量（kg）
鏡體（含電子槍）	1,060×1,742×2,970	1,940
機(jī)體外殼蓋	1,678×1,970×3,157	429
操作臺(tái)	1,400×819×740	132
擴(kuò)展操作臺(tái)*1	580×819×740	53
FE槽	1,041×840×1,317	482
V0槽	398×630×1,046	164
控制電源	1,400×693×816	173
像差校正器電源	606×529×1,096	81
排氣系統(tǒng)電源	913×663×1,790	378
轉(zhuǎn)向系統(tǒng)電源	913×663×1,790	394
配重塊	280×130×130	23
Gatan控制器13	576×648×1,173	150
冷卻水控制裝置	470×540×350	25
冷卻水循環(huán)裝置13	970×970×1,064	95
干式泵*1	252×400×336	23
空壓機(jī)*1	275×560×576	25

安裝條件

項(xiàng)目		內(nèi)容
室溫		15～23℃（溫度變化：0.2℃/h以內(nèi)）
濕度		40～60% RH
電源	機(jī)體	單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA 斷路器容量 50 A
電源	冷卻水循環(huán)裝置13	三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A
接地		D種接地（100 Ω以下）
冷卻水	水量	5.1～5.3 L/min 1系統(tǒng)、2.0～2.2 L/min 1系統(tǒng) （水壓0.25 MPa）
冷卻水	水溫	16～18℃（變動(dòng)：±0.1℃以內(nèi)）
氣體	SF6	99.9%以上、180 k～200 kPa
	干氮	99.9%以上、0～100 kPa
	壓縮空氣	600 k～800 kPa