半導(dǎo)體芯片大型恒溫恒濕試驗(yàn)箱
一、產(chǎn)品概述
專為滿足半導(dǎo)體芯片研發(fā)、生產(chǎn)及存儲(chǔ)的嚴(yán)苛環(huán)境需求而設(shè)計(jì)。半導(dǎo)體芯片對(duì)溫濕度變化極為敏感,微小的環(huán)境波動(dòng)可能導(dǎo)致芯片性能下降、電路失效甚至報(bào)廢。該試驗(yàn)箱可精準(zhǔn)控制溫度范圍在 18℃ - 26℃,濕度范圍在 40% - 60% RH,溫度控制精度達(dá) ±0.1℃,濕度控制精度達(dá) ±1% RH,通過(guò)穩(wěn)定、潔凈的環(huán)境,有效避免芯片因溫濕度異常出現(xiàn)氧化、翹曲、短路等問(wèn)題,為半導(dǎo)體芯片的質(zhì)量可靠性提供堅(jiān)實(shí)保障,廣泛應(yīng)用于芯片制造企業(yè)、科研機(jī)構(gòu)等。
半導(dǎo)體芯片大型恒溫恒濕試驗(yàn)箱
二、基本結(jié)構(gòu)
試驗(yàn)箱采用大型臥式箱體結(jié)構(gòu),內(nèi)部空間寬敞,可容納大量半導(dǎo)體芯片及相關(guān)測(cè)試設(shè)備。箱體由高強(qiáng)度不銹鋼內(nèi)膽與聚氨酯隔熱層組成,具備優(yōu)秀的保溫、防潮和抗腐蝕性能。箱內(nèi)設(shè)有智能溫濕度調(diào)控系統(tǒng)、高效空氣凈化系統(tǒng)、精準(zhǔn)風(fēng)速調(diào)節(jié)裝置以及監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)。智能溫濕度調(diào)控系統(tǒng)集成制冷、制熱、加濕、除濕模塊;高效空氣凈化系統(tǒng)配備 HEPA 過(guò)濾器,可過(guò)濾 0.3μm 以上的顆粒污染物;精準(zhǔn)風(fēng)速調(diào)節(jié)裝置確保箱內(nèi)氣流均勻;監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)采集和處理溫濕度、潔凈度等數(shù)據(jù)。
三、制冷系統(tǒng)
制冷系統(tǒng)采用雙級(jí)壓縮制冷技術(shù),搭配環(huán)保型制冷劑,制冷效率高且節(jié)能環(huán)保。雙級(jí)壓縮機(jī)可根據(jù)箱內(nèi)溫度需求靈活調(diào)整制冷量,實(shí)現(xiàn)快速降溫與精準(zhǔn)控溫。同時(shí),制冷系統(tǒng)配備智能變頻技術(shù),在維持穩(wěn)定低溫的同時(shí),降低能耗。此外,制冷系統(tǒng)還具備余熱回收功能,將制冷過(guò)程中產(chǎn)生的熱量進(jìn)行回收利用,進(jìn)一步提升能源利用率,確保試驗(yàn)箱在長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行下仍能保持穩(wěn)定的制冷效果。
四、加濕系統(tǒng)
加濕系統(tǒng)采用電極式加濕技術(shù),通過(guò)電極對(duì)水進(jìn)行加熱,產(chǎn)生純凈蒸汽后均勻輸送至箱內(nèi)。該技術(shù)具有加濕速度快、精度高的特點(diǎn),可快速響應(yīng)濕度變化需求。系統(tǒng)配置自動(dòng)補(bǔ)水裝置和水質(zhì)監(jiān)測(cè)模塊,自動(dòng)監(jiān)測(cè)水箱水位和水質(zhì),及時(shí)補(bǔ)充清潔水源,避免因水質(zhì)問(wèn)題影響加濕效果和試驗(yàn)箱正常運(yùn)行。結(jié)合高精度濕度傳感器和智能 PID 控制算法,實(shí)現(xiàn)濕度的精準(zhǔn)調(diào)控,為半導(dǎo)體芯片提供穩(wěn)定、適宜的濕度環(huán)境。
五、工作原理
用戶通過(guò)試驗(yàn)箱的人機(jī)交互界面設(shè)定溫濕度目標(biāo)值和運(yùn)行參數(shù)。設(shè)備啟動(dòng)后,智能溫濕度調(diào)控系統(tǒng)依據(jù)設(shè)定值,控制制冷、制熱、加濕、除濕組件協(xié)同工作。高效空氣凈化系統(tǒng)持續(xù)過(guò)濾箱內(nèi)空氣,維持潔凈環(huán)境;精準(zhǔn)風(fēng)速調(diào)節(jié)裝置確保箱內(nèi)氣流均勻,促進(jìn)溫濕度快速平衡。監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)采集箱內(nèi)溫濕度、潔凈度等數(shù)據(jù),并與設(shè)定值進(jìn)行對(duì)比,一旦出現(xiàn)偏差,立即發(fā)出指令調(diào)整設(shè)備運(yùn)行狀態(tài),使溫濕度迅速恢復(fù)到設(shè)定范圍。