MMA大行程系列測(cè)量顯微鏡采用NIKON原裝傾斜式三目鏡筒,五段變倍鼻輪(可選自動(dòng)變倍鼻輪)。提供超高清晰度測(cè)量畫(huà)面,配以0.0001mm分辨率金屬光柵實(shí)現(xiàn)更高的測(cè)量精度,同時(shí)Z軸采用圖像處理方式實(shí)現(xiàn)Z軸精準(zhǔn)對(duì)焦測(cè)高,10X及以上物鏡對(duì)焦重復(fù)性≤0.002mm,100X物鏡對(duì)焦重復(fù)性≤0.001mm。
適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板(LCM)、晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域。
升級(jí)擴(kuò)展選項(xiàng):
A、DIC微分干涉模塊;
B、熒光模塊。
機(jī)型參數(shù):