產(chǎn)品介紹：
ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)由滑動(dòng)管式爐、石英真空室、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。
這款ALD-TL1200-1200-S-C 原子層氣相沉積系統(tǒng)以Kanthal A1 電阻絲為加熱元件，采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，過(guò)零
觸發(fā)、可控硅控制，爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，爐管兩端能不銹鋼法蘭密封，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)
真空度能夠達(dá)到10-3 Pa，具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點(diǎn)。
開(kāi)蓋保護(hù)系統(tǒng)：該爐安裝有行程開(kāi)關(guān)，當(dāng)爐蓋打開(kāi)時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源，有效地保證使用者的安全。
| 型號(hào) | ALD-TL1200-1200-H-C-I | ALD-TL1200-1200-H-C-II | ALD-TL1200-1200-H-C-III | |||
| 功率 | 4KW | |||||
| TL1200 管式爐 | 爐管尺寸 | Dia 60(OD) X1500mm | Dia 80(OD) X1500mm | Dia 100(OD) X1500mm | ||
| 外形尺（LXDXH） | 1500X450X600 | 1500X450X600 | 1500X510X650 | |||
| 電源電壓 | 220V | |||||
| 相數(shù) | 單相 | |||||
| 加熱元件 | 瑞典Kanthal A1 進(jìn)口電阻絲 | |||||
| 控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表（標(biāo)配） 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí)， 主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)，主電路斷開(kāi)，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。 3、帶有485 通訊接口（選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配） 4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能 （更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)，選購(gòu)） FP93控溫儀表（日本島電） 歐陸儀表 觸摸屏儀表 | |||||
| 控溫模式 | 智能PID | |||||
| 斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | |||||
| 過(guò)溫保護(hù) | 有 | |||||
| 過(guò)流保護(hù) | 有 | |||||
| 控制精度 | +/- 1 ℃ | |||||
| 觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | |||||
| 電器 | 浙江正泰 | |||||
| 可控硅 | 106/16E 德國(guó)西門康 | |||||
| 溫度 | 溫區(qū)一：1200 ℃ 溫區(qū)二：1200 ℃ | |||||
| 額定溫度 | 溫區(qū)一：1100 ℃ 溫區(qū)二：1100 ℃ | |||||
| 升溫速率 | ≤30 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改） | |||||
| 推薦升溫速率 | ≤15℃/ Min | |||||
| 熱電偶型號(hào) | 溫區(qū)一：K 型 溫區(qū)二：K型 | |||||
| 加熱段長(zhǎng)度 | 溫區(qū)一：200mm 溫區(qū)二：200 mm | |||||
| 電器認(rèn)證 | | |||||
| 四周表面溫度 | ≤45℃ | |||||
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GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| D07-7C 質(zhì)量流量計(jì)
| 量程和氣體 | 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型） | |||
| 耐壓 | 3MP | |||||
| 流量控制精度 | ±1.0%F.S | |||||
| 工作（使用）壓力 | 0.3MPa | |||||
| 線性 | ±0.5%F.S. | |||||
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | |||||
| 路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路） | |||||
| 接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | |||||
| 系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | |||||
| 工作溫度 | 5-45℃ | |||||
| 壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | |||||
| 靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | |||||
| 接口 | Dia6 / 1/4” | |||||
| VS-0.1抽氣系統(tǒng) 方案一或方案二任選一個(gè)
| 電源 | 220V | ||||
| 尺寸 | 650X650X600 / 650X650X300 | |||||
| 波紋管 | KF25X1000mm | |||||
| 用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) | 10 -1Pa | |||||
| 真空擋板閥 | KF25 | |||||
| VRD-16真空泵 （方案一） | 型號(hào) | VRD-8 | ||||
| 極限分壓強(qiáng) | 5X10-2 Pa | |||||
| 進(jìn)排氣接口 | KF25 | |||||
| 電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | |||||
| 抽氣速率 | 2.2L/S | |||||
| 電機(jī)功率 | 0.4KW | |||||
| 瑞典（INFICON） 皮拉尼陶瓷電容真空計(jì) （方案二） | 型號(hào) | PCG554 | ||||
| 輸入電壓 | 24V 1A DC（配有220V變壓器） | |||||
| 真空計(jì)接口 | KF16 | |||||
| 數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | |||||
| 產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |||||
| 重量 | 5 lbs | |||||
| 檢測(cè)氣體 | 可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。 | |||||
| 是否防腐 | 防腐 | |||||
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤30ms | |||||
| 測(cè)量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | |||||
| 分子泵機(jī)組（選購(gòu)） （方案一或方案二任選一個(gè)） | 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | ||||
| 波紋管 | KF40X1000 | |||||
| 真空擋板閥 | KF40 | |||||
| 機(jī)箱尺寸 | 600X600X600 | |||||
| 分子泵 （方案一） | 分子泵型號(hào) | FJ620 | ||||
| 輸入電壓 | 380V | |||||
| 分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | |||||
| 分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣） | 600 | |||||
| 分子泵極限壓強(qiáng)（Pa) | 6×10-7 | |||||
| 冷卻方式 | 水冷 | |||||
| 冷卻水壓（MPa） | 0.1-0.2 | |||||
| 冷卻水溫度 | <25℃ | |||||
| 環(huán)境溫度 | 0~40℃ | |||||
| 建議啟東壓強(qiáng) | <100pa | |||||
| 分子泵前級(jí)真空泵TRP-24 （方案二） | 功率 | 0.75KW | ||||
| 電壓 | 380V | |||||
| 轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | |||||
| 進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | |||||
| 前機(jī)泵抽氣速率（L/S） | 6 | |||||
| 極限壓強(qiáng) | 4X10 -2Pa | |||||
| 德國(guó)Pfeiffer真空泵 （方案二）
| 電壓 | 220V | ||||
| 功率 | 110W | |||||
| 抽氣接口 | KF40 | |||||
| 重量 | 150KG | |||||
| 前機(jī)泵抽速 | 0.9m 3/ h | |||||
| 抽氣速率（N2） | 33L/S | |||||
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復(fù)合真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì)型號(hào) | ZDF | ||||
| 電源 | 220V 55W | |||||
| 控制精度 | ± 1% | |||||
| 真空計(jì)測(cè)量范圍 | 10-5 -10 5 Pa | |||||
