SJ6000中圖高精度激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，是一種能夠測(cè)量機(jī)床精度的高精度測(cè)量裝置。它具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
SJ6000中圖高精度激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，具有高精度、高分辨率、快速測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。
產(chǎn)品應(yīng)用
1.測(cè)量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。
導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會(huì)直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測(cè)量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。
2.測(cè)量機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度。
機(jī)床工作臺(tái)的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測(cè)量工作臺(tái)上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺(tái)的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。
3.測(cè)量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。
機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測(cè)量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。
4.其它
除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測(cè)量機(jī)床各個(gè)部件之間的相對(duì)位置和尺寸關(guān)系，從而檢測(cè)和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測(cè)機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動(dòng)情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài)，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。
對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
線性測(cè)量應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。
部分技術(shù)規(guī)格
| 穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ≤ 6分鐘 |
| 工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
| 存儲(chǔ)溫度范圍 | (-20~70)℃ |
| 環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
| 線性測(cè)量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
| 線性測(cè)量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
| 角度軸向量程 | (0~15)m |
| 角度測(cè)量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
| 平面度軸向量程 | (0~15)m |
| 平面度測(cè)量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m) |
| 直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長(zhǎng)距離(1.0~20.0)m |
| 直線度測(cè)量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長(zhǎng)距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
| 垂直度軸向量程 | 短距離(0.1～3.0)m;長(zhǎng)距離(1.0～15.0)m |
| 垂直度測(cè)量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長(zhǎng)距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組
直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。
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