四探針電阻率測試儀

四探針電阻率測試儀

在中國標(biāo)準(zhǔn)分類中，四探針法涉及到半金屬與半導(dǎo)體材料綜合、金屬物理性能試驗方法、、、電工合金零件、特種陶瓷、質(zhì)譜儀、液譜儀、能譜儀及其聯(lián)用裝置、電阻器、半導(dǎo)體集成電路、工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察與巖土工程、水環(huán)境有物質(zhì)分析方法、電工材料和通用零件綜合、半金屬、元素半導(dǎo)體材料、金屬無損檢驗方法。

GB/T 6617-2009 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法

GB/T 14141-2009 硅外延層、擴散層和離子注入層薄層電阻的測定.直排四探針法

GB/T 1551-1995 硅、鍺單晶電阻率測定 直流兩探針法

GB/T 6617-1995 硅片電阻率測定 擴展電阻探針法

GB/T 1552-1995 硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法

本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

半導(dǎo)材料四探針測試儀（BEST-300C）

半導(dǎo)電材料電阻測試儀BEST-300C

特點：電阻精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ； 

方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ； 

雙電測原理，提精度和穩(wěn)定性； 

測試探頭直排和矩形可選； 

標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接； 

可配戴軟件查看和記錄測試數(shù)據(jù)； 

適用范圍

使?四探針治具測試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率

使?開爾?測試夾直接測試電阻器直流電阻； 

四端測試法是目前較之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求

四探針?阻測試儀是運?四探針原理測量?塊電阻的專?儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時顯。儀器 

測試范圍0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，電阻精度0.01%，精度2%?？?于測試半導(dǎo)體、屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率。 

參數(shù)便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時顯示。

精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

整機測量相對誤差：≤±1%；整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

四位半顯示讀數(shù)；十量程自動或手動測試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選；實現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選

測量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；

正反向電流源修正測量電阻誤差

恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

可配合多種探頭進行測試；也可配合多種測試臺進行測試。

校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。

厚度可預(yù)設(shè)，自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率。

自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正。

雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好.

具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。

比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。

軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分

析。

顯示語言 英文/中文

供電模式110v/220v

提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求

半導(dǎo)材料四探針測試儀（BEST-300C）

半導(dǎo)電材料電阻測試儀BEST-300C

特點：電阻精度：0.01%，分辨率0.1uΩ； 

方電阻精度：1%，分辨率：0.1uΩ； 

雙電測原理，提精度和穩(wěn)定性； 

測試探頭直排和矩形可選； 

標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接； 

可配戴軟件查看和記錄測試數(shù)據(jù)； 

適用范圍使?四探針治具測試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率

使?開爾?測試夾直接測試電阻器直流電阻； 

四端測試法是目前較之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.

提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求

四探針阻測試儀是運四探針原理測量塊電阻的專儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時顯。儀器 

測試范圍0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，電阻精度0.01%，精度2%。可于測試半導(dǎo)體、?屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的阻和電阻率。 

參數(shù)便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時顯示。

精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；

方阻基本準(zhǔn)確度：1%；

電阻率基本準(zhǔn)確度：1%

整機測量相對誤差：≤±1%；整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%

四位半顯示讀數(shù)；十量程自動或手動測試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選；實現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選

測量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；

正反向電流源修正測量電阻誤差

恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。

可配合多種探頭進行測試；也可配合多種測試臺進行測試。

校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。

厚度可預(yù)設(shè)，自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率。

自動進行電流換向,并進行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進行厚度修正。

雙電測測試模式，測量精度高、穩(wěn)定性好.

具備溫度補償功能，修正被測材料溫漂帶來的測試結(jié)果偏差。

比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對被測件進行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

測試模式：可連接電腦測試、也可不連接電腦單機測試。

軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點的測試數(shù)據(jù)；可供用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分

析。

顯示語言 英文/中文

供電模式110v/220v

電阻測量范圍：

電阻率： 1×10-6～2×106Ω.cm、

電阻：1×10-5～2×105Ω

電導(dǎo)率：5×10-6～1×108ms/cm

分辨率：  醉小1μΩ