CV-3200系列是在Z1軸（檢出器）上配有高精度弧形光柵尺和新型測臂的輪廓測量儀。高精度弧形光柵尺能直接讀取測針的弧形軌跡，以實現(xiàn)高精度和較高的分辨力。與傳統(tǒng)型號相比，新測臂使Z1軸測量范圍增大了10mm同時減少了工件的干擾。測臂安裝部采用了磁性鏈接件，單此接觸就能完成測臂的裝卸，提高了易用性。

詳細(xì)介紹

一、技術(shù)特點

CV-3200系列是在Z1軸（檢出器）上配有高精度弧形光柵尺和新型測臂的輪廓測量儀。高精度弧形光柵尺能直接讀取測針的弧形軌跡，以實現(xiàn)高精度和高分辨力。與傳統(tǒng)型號相比，新測臂使Z1軸測量范圍增大了10mm同時減少了工件的干擾。測臂安裝部采用了磁性鏈接件，單此接觸就能完成測臂的裝卸，提高了易用性。

二、測量項目

各種類型工件表面的線要素、點要素，點與點的距離、線與線的距離，各要素的位置度包括：距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進(jìn)行直線度分析，凸度分析等。

三、技術(shù)參數(shù)及配置

項目	CV-3200S4
X軸（橫臂）	測量范圍	100mm
	直線度	0.8μm/100mm,2μm/200mm 當(dāng)X軸在水平方向上
	測量速度	0.02-5mm/s
	驅(qū)動速度	80mm/s
	光柵分辨率	0.05µm
	指示精度	±(1+0.01L)μm L:為驅(qū)動長度(mm)
	測量方向	向前/向后
	傾斜范圍	±45°
	測量方法	反射式光學(xué)尺
Z1軸（檢測器）	測量范圍	±25mm
	分辨率	0.2µm
	測量方法	光學(xué)尺
	指示精度	±（1.6+\|7H\|/12) µm±(2+4H/100)μm H:為水平位置上的測量高度
	指測針上/下運動	弧形運動
	測針方向	向上/向下
	測針抬起方式	自動或手動
	測力	30mN
	爬坡角度	上升77°下降83°
標(biāo)配測針	測針類型	硬質(zhì)合金針尖
標(biāo)配測針	測針半徑	25 µm
Z2軸（立柱）	測量高度	300mm
	分辨率	1 µm
	測量方法	ABSOLUTE光學(xué)尺
	運動速度	0-20mm/s
儀器平臺及工裝夾具	花崗巖基座	600X450
儀器平臺及工裝夾具	X、Y軸移動平臺	130*100mm
重量	主機(jī)	140kg
	控制箱	14kg
	搖控箱	0.9kg
環(huán)境要求	氣壓	0.4MPa
	耗氣量	30L/min
	電源	100-240VAC ±10%, 50/60Hz
	環(huán)境	溫度：10～30℃；相對濕度：＜85%

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