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MSA-600顯微式激光測(cè)振儀

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更新時(shí)間：2023-02-08 18:11:53瀏覽次數(shù)：297次

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MSA-600顯微式激光測(cè)振儀

詳細(xì)介紹


MSA-600顯微式激光測(cè)振儀


產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 集多功能于一體的光學(xué)測(cè)量工作站
? 真正的實(shí)時(shí)測(cè)量，無(wú)需數(shù)據(jù)后處理
? 的亞pm位移分辨率
? 測(cè)量速度快，振型可視化顯示
? 操作界面直觀友好
? 全自動(dòng)化測(cè)量，易于集成至商用探針臺(tái)上

技術(shù)參數(shù)：








應(yīng)用領(lǐng)域：

? 微型結(jié)構(gòu)的面外振動(dòng)，測(cè)量單點(diǎn)振動(dòng)或者兩點(diǎn)間的相對(duì)振動(dòng)
如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、射頻MEMS開(kāi)關(guān)、FEM有限元模型驗(yàn)證、CMUT、PMUT、MEMS薄膜壓力傳感器、PZT壓電懸臂梁等

? 微型結(jié)構(gòu)的面內(nèi)振動(dòng)

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、MEMS扭轉(zhuǎn)激振器、壓電陶瓷制動(dòng)器的橫向運(yùn)動(dòng)

? 微型結(jié)構(gòu)的表面形貌

如：梳齒驅(qū)動(dòng)器、微型齒輪、微流量傳感器、懸臂梁等表面形貌






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