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更新時(shí)間：2023-02-20 12:45:57瀏覽次數(shù)：523次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)228-3FA 全自動(dòng)晶圓貼片壓合機(jī)，壓合受力均勻，快速抽換膜料和更換廢料滾動(dòng)條。
BW 228-3FA 全自動(dòng)晶圓貼片壓合機(jī)
賣點(diǎn)
。SECS / GEM 功能
。適用單面 / 雙面膜
。全自動(dòng)貼片壓合 ( 可貼合晶圓 + 陶瓷盤 / 玻璃等材料 )
機(jī)臺(tái)優(yōu)勢(shì)
。壓合受力均勻
。快速抽換膜料和更換廢料滾動(dòng)條。
作業(yè)方式
步驟一：操作人員將 6 吋晶圓卡匣、晶圓載盤卡匣、及各膜料放置預(yù)定位置后開始作業(yè)。
步驟二：利用機(jī)械手臂，將 6 吋晶圓從卡匣取出，經(jīng)中心對(duì)位及正反面判讀后，再放置于晶圓吸附平臺(tái)上。
步驟三：晶圓吸附平臺(tái)移至膠膜貼合位，利用壓輪及夾膜機(jī)構(gòu)夾住膠膜并滾壓移載臺(tái)移動(dòng)至切割位。
步驟四：切割刀下降至預(yù)定位置，旋轉(zhuǎn)刀具切割膜料，切割完成后上升。
步驟五：移載臺(tái)移至撕膜位，利用撕膜膠帶將6吋晶圓上之離型膜黏起后，移載臺(tái)移至真空壓合位。
步驟六：機(jī)械手臂將晶圓載盤從卡匣取出，經(jīng)中心對(duì)位及正反面判讀后，再放置于上吸附盤。
步驟七：真空壓合機(jī)構(gòu)下降至預(yù)定位置，真空罩開始吸真空，到達(dá)預(yù)定真空值后開始進(jìn)行 6 吋晶圓與晶圓載盤之貼合。
步驟八：完成貼合后，機(jī)械手臂再將成品取回，放置成品區(qū)卡匣，完成。
《持續(xù)重復(fù)步驟二~步驟八?！?/span>
| 設(shè)備尺寸 | 2800 mm × 1200 mm × 2500 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ ) |
| 設(shè)備重量 | 2000 kg |
| 電源ＡＣ | 3 Ø 220 V ∕ 50 A |
| 空氣源 | 5~8 Kgf/cm2 (12 ØTube) |
| 晶圓尺寸 | 6″ |
| 晶粒尺寸 | 無 |
| 雷切深度 | 無 |
| 貼合物尺寸 | 8″ |
機(jī)臺(tái)特性：
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