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行業(yè)產(chǎn)品

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上海玖蘇科技有限公司


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減薄性研磨機(jī)--PG3000RMX

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品       牌

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更新時間：2023-10-09 12:16:05瀏覽次數(shù)：126次

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產(chǎn)品簡介

減薄性研磨機(jī)--PG3000RMX

詳細(xì)介紹

減薄性研磨機(jī)--PG3000RMX

為將晶圓減薄到一定厚度，晶圓的圖形面

會貼上一層保護(hù)膠帶，然后用磨輪和拋光材料

對晶圓背面進(jìn)行研磨。由于半導(dǎo)體材料用晶圓

越來越薄，傳統(tǒng)的研磨機(jī)已經(jīng)不能滿足使用要求。

Accretech的PG系列可以拋光超薄晶圓，和RM

系統(tǒng)的連接，可以在下料時給晶圓背面自動貼上

切割膠帶，實(shí)現(xiàn)15um厚度晶圓量產(chǎn)的高度集成化一體機(jī)。

 

 

規(guī)格

工件尺寸（可選配）

Φ300

主軸

軸數(shù)

2

輸出功率（KW）

6.3

轉(zhuǎn)速（min-1）

4000

 

工作臺數(shù)量

4

尺寸（mm）

研磨機(jī)單體

1750×2842×2100

(W×D×H)

RM單元單體

1729×2715×2100

重量（KG）

研磨機(jī)單體

8000

RM單元單體

1500


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