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浚和(上海)儀器科技有限公司
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從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)。 型號(hào) PR200 PR301 方式 DP模式、圓柱形腔體 性能 發(fā)生器功率: 0-200W 0-300W 發(fā)生器頻率: 射頻RF13.56Mhz 發(fā)生器匹配方式: 自動(dòng)匹配(Auto matching) 手動(dòng)匹配(manul) 構(gòu)成 腔體材質(zhì): 高硼硅玻璃 腔體內(nèi)尺寸: φ100×L160mm φ118×L160mm 反應(yīng)氣體: 一路工藝氣體,可支持氧氣、氬氣、氮?dú)獾确歉g性氣體。 控制方式: 半自動(dòng)控制 真空度顯示: 數(shù)字式皮拉尼傳感器,實(shí)時(shí)顯示腔體內(nèi)真空度。 模擬式壓力表 配管材質(zhì): SUS不銹鋼以及特氟龍 門(mén): 鉸鏈門(mén) 外形尺寸: W350×D400×H500mm W438×D520×H630mm 真空泵抽速: 4m3/hour 電源規(guī)格: AC220V 10A 重量: 約25kg 約34kg 附屬品 真空管件一套、真空轉(zhuǎn)接接頭一套、試料托盤(pán)一枚。
用途:
? 高分子材料表面的官能基附與→粘合性、密著性提高。通過(guò)氧化反應(yīng),在表面生產(chǎn)-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮?dú)獾入x子體中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH2等官能基。
? 晶硅圓蝕刻。
? 材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
? 石棉預(yù)處理(膜過(guò)濾灰化)。
? 從電子設(shè)備到生化市場(chǎng)。
? 低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
? 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
? 表面有機(jī)物去除。
特點(diǎn):
? RF為200W的高性能輸出類(lèi)型(PR200)。
? 由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī),很小的位置都可以安裝。
? 同步,自動(dòng)調(diào)諧,操作簡(jiǎn)單(PR200)。
? 等離子體反應(yīng)器(灰化設(shè)備)(PR200)。
? 同步,自動(dòng)調(diào)諧(PR200)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):
●等離子清洗機(jī)清洗效果好,清洗效率高,功率大,應(yīng)用范圍廣。
●對(duì)清洗樣品,沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過(guò)程中,溫升很小,基本可達(dá)到常溫處理。
●高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤(pán)結(jié)構(gòu),可保證樣品可得到全面有效的清洗。
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