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YAMATO等離子清洗機PDC200

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更新時間：2024-01-08 07:51:30瀏覽次數(shù)：196次

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產(chǎn)品簡介

小型桌上型高頻等離子表面處理裝置

詳細介紹

小型桌上型高頻等離子表面處理裝置。

■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調(diào)節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
● 標準配備數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質(zhì)的原因?qū)е聵悠肥艿轿廴尽?/span>

■ 安全性·保護
● 裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉(zhuǎn)狀態(tài)。
● 裝載有過電流漏電保護開關(guān)、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。

■ 產(chǎn)品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應(yīng)用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可保證樣品可得到全面有效的清洗。



■ 規(guī)格

型號

PDC200

方式

RIE模式、平行平板腔體

性能

發(fā)生器功率：

0-300W

發(fā)生器頻率：

射頻RF13.56Mhz

發(fā)生器匹配方式：

自動匹配（Auto matching）

構(gòu)成

腔體材質(zhì)：

鋁制

腔體內(nèi)尺寸：

W400×D250×H150mm

反應(yīng)氣體：

二路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體。

控制方式：

全自動控制

真空度顯示：

數(shù)字式皮拉尼傳感器，實時顯示腔體內(nèi)真空度。

配管材質(zhì)：

SUS不銹鋼以及特氟龍

門：

                                            鉸鏈門

外形尺寸：

W540×D600×H600mm

真空泵抽速：

4m3/hour

電源規(guī)格：

                                        AC220V  10A

重量：

約100kg


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