　　安捷倫7500系列具有自動(dòng)化的易于使用、可靠性以及設(shè)計(jì)，它提供了高水平的分析性能。新的7500系列可配備二代八級(jí)桿反應(yīng)池(ORS)技術(shù)，提供多種選擇的進(jìn)樣附件、更好的應(yīng)用與維修服務(wù)支持，它正在使得實(shí)驗(yàn)室進(jìn)入ICP-MS時(shí)代;

　　半導(dǎo)體工業(yè)常用材料中超痕量污染物分析：

　　固體：Si;GaAa單晶切片;石英、碳化硅等爐材料等

　　Agilent ICP-MS的高功率矩冷等離子體技術(shù)已被用于測定一系列ppt級(jí)痕量污染元素。

　　● 對(duì)其中一些樣品，其他方法無法得到滿意的結(jié)果，高功率矩冷等離子體技術(shù)是*一種分析方法。

　　● 強(qiáng)堿性清洗劑——四甲基氫氧化氨(TMAH)等

　　● 高基體樣品——光刻膠、液晶、BPSG、PSG等揮發(fā)強(qiáng)的清洗劑

電感耦合等離子質(zhì)譜儀

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