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小型生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) NANO

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) NANO 產(chǎn)品說明： 18L——33.6L生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)NANO可以組合成不同的模塊系統(tǒng)。高性價(jià)比可滿足各種材料的中小型生產(chǎn)。應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：分析、考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、滅菌、紡織技術(shù) 在線咨詢

詳細(xì)介紹

設(shè)備：小型生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) NANO

銷售：

產(chǎn)品功能：

清洗：工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。如：去除有機(jī)污染物，去除納米級(jí)微粒，去除氧化層。

活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會(huì)在表面形成氧原子團(tuán)，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。如：PDMS鍵合，粘接前的預(yù)處理，涂裝前的預(yù)處理，印刷前的預(yù)處理。

蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到精確濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn)，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。

涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng)，前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應(yīng)，形成聚合物層。如：疏水層，親水層，保護(hù)/阻隔層，干潤(rùn)滑層，疏油層。

主要技術(shù)參數(shù)

1、手動(dòng)控制
2、根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量等參數(shù)
3. 雙路工作氣體，氣體流量通過針型閥流量計(jì)控制
4. 反應(yīng)艙為高硼硅玻璃材質(zhì)，Φ 240mm、長(zhǎng) 400 mm，容積18L
5. 發(fā)生器頻率100KHz功率0~500W
6. 運(yùn)行模式為手動(dòng)
7. 真空泵的排氣能力為14 m3/Hour，干泵，Kashiyama
8. *配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
9. 外尺寸：寬 560 mm、高 600-860 mm、深 600 mm
10. 電源電壓：?jiǎn)蜗郃C230V 16A

選配：

控制系統(tǒng)：全自動(dòng)PCCE控制/全自動(dòng)PC控制。

氣體：

氣體流量計(jì)MFC，多路氣體

腔體：

圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 267 mm，長(zhǎng) 420 mm 或長(zhǎng) 600 mm）
矩形不銹鋼，帶鉸鏈的門（約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或 600 mm）
矩形鋁材，帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm x 240 mm，長(zhǎng) 420 mm 或長(zhǎng) 600 mm）
圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm，長(zhǎng) 400 mm 或長(zhǎng) 600 mm）
圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子或者帶鉸鏈的門（約 ∅ 240 mm，長(zhǎng) 400 mm 或長(zhǎng) 600 mm）

托盤：

石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英玻璃/水冷型

壓力測(cè)量：

Pirani/電容式壓力計(jì)（適用于腐蝕性氣體版本）

發(fā)生器：

100 kHz：0- 500 W 80 kHz：0- 1000 W 13.56 MHz： 0 - 100 W/300 W 2.45 GHz：0 - 600 W

其他：

......

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