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TSK621系列氣體質(zhì)量流量控制器

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品       牌

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更新時間：2024-08-26 09:26:38瀏覽次數(shù)：129次

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所在地區(qū)：北京北京市

產(chǎn)品簡介

TSK621系列微小型流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成

詳細介紹

TSK621系列微小型流量氣體質(zhì)量流量控制器/流量計由質(zhì)量流量傳感器、層流原件、質(zhì)量流量控制器調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，其原理是采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設(shè)定的信號進行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。用以準確可靠的測量和控制氣體質(zhì)量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響，廣泛的應(yīng)用于真空鍍膜設(shè)備、半導(dǎo)體工藝設(shè)備、化學(xué)化工實驗設(shè)備、分析儀器、冶金材料工程、能源動力等各領(lǐng)域。

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