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NTE-4000 (M) 熱蒸發(fā)系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地深圳市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/2/19 20:38:54
  • 訪問(wèn)次數(shù)122
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展,已經(jīng)成長(zhǎng)為一家專(zhuān)注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售為一體的企業(yè)。我們的主營(yíng)業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷(xiāo)售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷(xiāo)售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷(xiāo)售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷(xiāo)售等??萍紕?chuàng)新是科時(shí)達(dá)公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。我們擁有一支高度專(zhuān)業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團(tuán)隊(duì),建立了國(guó)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室和光電研究中心,與多家科研機(jī)構(gòu)與大專(zhuān)院校開(kāi)展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開(kāi)發(fā)出一系列具有高科技含量的市場(chǎng)產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品認(rèn)證。同時(shí),公司擁有電子信息領(lǐng)域相對(duì)完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負(fù)著支撐科技自立自強(qiáng)、推進(jìn)國(guó)內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展、服務(wù)社會(huì)民生的重要職責(zé)。聚焦“三大定位”主責(zé),科時(shí)達(dá)公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動(dòng)企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)上“布點(diǎn)”,在產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國(guó)家、國(guó)民經(jīng)濟(jì)命脈和國(guó)計(jì)民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強(qiáng)電子裝備,重點(diǎn)發(fā)展利用聲、光、電磁信號(hào)進(jìn)行信息感知、傳輸、運(yùn)用等的系統(tǒng)級(jí)裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實(shí)在高校科研領(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國(guó)家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點(diǎn)打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標(biāo),推動(dòng)以“科時(shí)達(dá)基因”為核心的銷(xiāo)售集群式發(fā)展。做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)??茣r(shí)達(dá)公司是一家企業(yè),多年來(lái)公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時(shí)企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)銷(xiāo)售,在整體銷(xiāo)售模式中具備一套完整的銷(xiāo)售體系。以客戶(hù)需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時(shí)達(dá)公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的一致認(rèn)可;公司營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
NTE-4000(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NTE-4000是一款PC計(jì)算機(jī)控制的臺(tái)式熱蒸發(fā)系統(tǒng),在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過(guò)程。
NTE-4000 (M) 熱蒸發(fā)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

蒸發(fā)鍍膜

NTE-4000(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NTE-4000是一款PC計(jì)算機(jī)控制的臺(tái)式熱蒸發(fā)系統(tǒng),在有機(jī)物和金屬沉積方面具有廣泛的應(yīng)用。設(shè)備的設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)非常慎重的考慮:在小的占地面積情況下實(shí)現(xiàn)干凈、均勻、可控及可重復(fù)的工藝過(guò)程。它們具有低價(jià)格, 高性能以及高能力的特點(diǎn),可滿(mǎn)足于客戶(hù)研發(fā)及小規(guī)模生產(chǎn)的應(yīng)用要求。 NTE-3000熱蒸發(fā)系統(tǒng)可以在設(shè)定的RMS電流下,或者在閉環(huán)的配置下操作,并且在這種情況下沉積速度的變化被用于調(diào)節(jié)RMS電流以維持恒定的沉積速度。

NTE-4000(M)蒸發(fā)系統(tǒng)是一個(gè)臺(tái)式系統(tǒng),跟我們的濺射系統(tǒng)共享一個(gè)共同的平臺(tái);比如:櫥柜,腔體,真空系統(tǒng),計(jì)算機(jī)控制架構(gòu)等方面都是一樣的。的區(qū)別是一個(gè)使用磁控管,另一個(gè)使用加熱坩堝因此,在我們?yōu)R射系統(tǒng)上的許多技術(shù)同樣適用到我們的熱蒸發(fā)系統(tǒng)中,比如:樣品臺(tái)的加熱,旋轉(zhuǎn),偏斜;涂覆前的等離子清洗,膜厚監(jiān)測(cè),序列或同時(shí)操作多源;鐘罩、鋁或不銹鋼腔體;預(yù)真空鎖以及自動(dòng)裝片/取片系統(tǒng)等。

NTE-4000NSC-4000很像除了樣片臺(tái)是在頂部并且樣片是面朝下固定。因?yàn)橛性S多的共同點(diǎn),我們可以提供NTS系列的系統(tǒng)(NTS-3000, NTS-4000),具有濺射和蒸發(fā)兩種能力。通過(guò)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),我們可以在同一套系統(tǒng)上提供濺射和蒸發(fā)能力,這樣可以充分利用濺射和蒸發(fā)技術(shù),而無(wú)須中斷真空。

Nano-Master的蒸發(fā)系統(tǒng)的另一大優(yōu)勢(shì)是持續(xù)性地控制加熱器電流,而不是震蕩式控制加熱器。系統(tǒng)裝配固態(tài)電流控制電路,這點(diǎn)跟許多系統(tǒng)采用的自藕變壓器不同。在該系統(tǒng)中,電流或者RMS值的持續(xù)時(shí)間被控制。用戶(hù)可以選擇一個(gè)設(shè)定值,它實(shí)際上是設(shè)定交流電半周期的部分,會(huì)出現(xiàn)跟鎢加熱器電線的交叉。這樣,系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確快速的電流控制,這使得閉環(huán)溫度控制就可以實(shí)現(xiàn)。此外,電流控制以及溫度控制,可以滿(mǎn)足蒸發(fā)的苛刻要求,無(wú)論是對(duì)有機(jī)材料還是對(duì)金屬。我們測(cè)量坩堝TBRMS電壓,RMS電流,和溫度,并通過(guò)熱電偶TC跟坩堝底部接觸的方式測(cè)量溫度??折釄宓募訜釋?shí)驗(yàn)結(jié)果如下圖所示,這些加熱實(shí)驗(yàn)結(jié)果是在208V線電壓下進(jìn)行的。電流和電壓(沒(méi)有顯示)通過(guò)RMS儀表測(cè)量。

通過(guò)以上的溫度與電流的關(guān)系,我們可以設(shè)定并控制電流以達(dá)到坩堝內(nèi)想要的溫度,溫度可以通過(guò)熱電偶來(lái)測(cè)量。材料防止在坩堝中熱損失和加熱時(shí)間的常量將會(huì)發(fā)生變化,然而坩堝內(nèi)的溫度和熱電偶的測(cè)量值之間的關(guān)系將不會(huì)變化。因此,我們的技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)坩堝內(nèi)的溫度不依賴(lài)于大部分放入的材料,甚至不受線電壓值的影響。

NTE-4000(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 可支持7”的方片或200mm的晶圓片

  • 沉積速度可控

  • 旋轉(zhuǎn)的樣品臺(tái)

  • 雙坩堝

  • 2KVA SRC控制電源

  • 晶振式膜厚監(jiān)控儀

  • 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)控制

NTE-4000(M)熱蒸發(fā)系統(tǒng)相似產(chǎn)品型號(hào):

  • NTE-4000  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)

  • NTE-3500  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)

  • NTE-3000  基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的雙蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)

  • NTE-1000  計(jì)算機(jī)控制的單蒸發(fā)源臺(tái)式系統(tǒng)



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